
- 碳化硅陶瓷罐消除磁场搅扰功能
在精细加工、半导体制作、高精度丈量等范畴,磁场搅扰是影响设备稳定性和产品精度的要害应战。碳化硅陶瓷罐凭仗其共同的物理化学功能,成为有用消除此类搅扰的抱负挑选。
碳化硅(SiC)属共价键化合物,其晶体结构中不存在未配对电子,因而具有优异的
。这是其能有用阻隔或极大削弱外部磁场对罐内活络工艺或物质搅扰的根本原因。
高纯度烧结碳化硅具有极高的电阻率(10^10 Ω·cm),能有用阻断电磁感应产生的涡流,进一步削减磁场耦合效应。
高热导率(~120-200 W/mK)结合低热线胀系数(~4.0x10^-6 /K),赋予其超卓的抗热震性,保证在快速气温改变下结构完整性和屏蔽效果。
对强酸、强碱及高温氧化环境具有极强耐受性,保证罐体在杂乱化学环境中稳定性很高,长时间牢靠地供给磁屏蔽维护。
相较于常用的氧化铝(Al2O3)、氧化锆(ZrO2)等工业陶瓷,碳化硅陶瓷罐在应对磁场搅扰场景中展示显着优势:
虽自身非铁磁性,但其磁屏蔽效能远逊于碳化硅。特别含微量铁杂质的一般氧化铝,或许引进弱小磁性搅扰。
导热率是氧化铝的5倍以上,氧化锆的10倍以上。利于工艺流程中热量快速均匀发出,削减热应力导致的变形或开裂危险,直接保证磁屏蔽结构的稳定性。
兼具高强度和超高硬度(优于氧化铝,挨近或部分逾越氧化锆),抗机械冲击和磨损才能极强。
高温强度坚持率极佳(1600°C下仍能坚持大部分强度),抗氧化性强。
氧化铝在高温下(1000°C)强度下降显着;氧化锆在特定温度区间(~200-400°C)有几率产生相变导致功能不稳定危险。
总结比照要害:在有必要消除磁场搅扰的使用中,碳化硅陶瓷罐凭仗其尖端的非磁性/磁屏蔽功能、杰出的导热性、顶尖的硬度与耐磨性以及超卓的高温稳定性,归纳优势杰出。氧化锆虽耐性好,但磁屏蔽和导热性缺乏;氧化铝本钱较低,但在要害功能(磁屏蔽、导热、强度硬度)上均逊于碳化硅。
碳化硅陶瓷罐的出产是技术密集型工艺,职业抢先企业如海合精细陶瓷有限公司深谙此道:
用于刻蚀、CVD/PVD等工艺腔室内的零部件、晶圆承载/传输容器(如舟、桨),屏蔽外部磁场对等离子体或精细设备的搅扰。
作为电子显微镜(SEM/TEM)、磁力仪等高活络设备的样品室或屏蔽罩,保证丈量精度。
在触及强磁场或需根绝磁性污染的组成、提纯、热处理等工艺中作为反响容器或坩埚。
碳化硅陶瓷罐以其固有的非磁性、优异的归纳物理化学功能和成熟的制作工艺(如海合精细陶瓷有限公司所把握的),为消除磁场搅扰这一要害工业应战供给了牢靠且高功能的解决方案,在高科技制作与研制范畴继续发挥无法代替的效果。